一鍵鍍膜，全自動(dòng)操作
?一鍵鍍膜，全自動(dòng)操作 主要參數(shù) 外形尺寸 330(L)×300(H)×370(D) mm 顯示屏 7 英寸觸摸屏、全數(shù)字顯示 可用靶材 Au、Pt、Cu、Ag、Pd等 靶材尺寸 Φ50mm，厚度支持0.1-2mm 工作電流 1-50mA可調(diào) 鍍膜時(shí)間 1-9999s可調(diào) 真空泵 旋片式真空泵（可選干泵） 真空泵抽速 1.1L/s 真空室 φ130×100mm 高強(qiáng)度玻璃 極限真空 ≤0.5Pa 工作介質(zhì) 氬氣或氮?dú)猓諝猓?/span> 工作真空 1-20Pa可調(diào) 供電 AC220V/50Hz 額定功率 500W 樣品臺(tái) Φ80mm，可放置14個(gè)標(biāo)準(zhǔn)樣品座，與靶材距離20-45mm可調(diào)節(jié)，標(biāo)配旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái) 其它 真空度、工作電流可實(shí)時(shí)曲線(xiàn)顯示
?7寸觸摸屏，工作參數(shù)實(shí)時(shí)查看
?鍍膜過(guò)程樣品無(wú)溫升適用范圍更廣
?抽氣效率高2分鐘內(nèi)開(kāi)始鍍膜
?磁控濺射，薄膜顆粒更小滿(mǎn)足
高分辨率看樣需求
?標(biāo)配旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)薄膜均勻性更好
